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見えてきた7nm以降の量産用EUV露光技術
2019/01/16 初期のEUVスキャナの開口数は0.25であり、現行機種の開口数は0.33である。いずれもArFドライ露光の最高値で .... 続いて、これらの改良の成果を取り込んだ新機種「NXE:3400C」を開発し、今年の年末までに出荷をはじめる。「NXE:3400C」は、5nm世代の ...続きを読む「PCWatch」>>> https://pc.watch.impress.co.jp/docs/column/semicon/1164527.html
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